Sidebar

含銅廢矽晶圓資源再生之方法

 

含銅廢矽晶圓資源再生之方法

專利號碼 I385254 專利所有權人 大葉大學
公告/公開日 2013/0211 申請日 2008/0819
申請號 097131848 證書號 I385254
國際分類號/IPC C22B-015/14(2006.01);H01L-021/30(2006.01)
專利權始日 20130211 專利權止日 20280818
摘要 本發明係提供一種含銅廢矽晶圓資源再生之方法,其特徵在於:先將含銅廢矽晶圓研磨過篩至50mesh(0.297mm)以下,再將其粉末以1N硫酸加上適量之過氧化氫、在70℃、固體(公克)/浸漬液(毫升)比為2/5、浸漬4小時下可得98.6%之最佳銅浸漬回收率,此含銅浸漬液可在70℃下加熱2小時後,再於室溫下靜置12小時,即可將濾液中之銅100%予以晶析成具銷售價值之硫酸銅結晶。另於上述浸漬條件下所得之濾渣中尚有0.01%含量之銅金屬,再重複以上述浸漬條件,將此濾渣中之銅金屬完全予以浸漬溶蝕至浸漬液中,再經二次鐵粉置換可將此浸漬液中之銅100%予以置換成金屬銅,而經過濾所得之濾渣即為具銷售價值之高純度矽材質。含銅廢矽晶圓經本發明之資源再生方法處理後,可獲得硫酸銅晶體、銅粉及高純度純矽材質等有價產品可供相關產業利用,達到資源回收再利用之目的。
專利授權方式 Email住址會使用灌水程式保護機制。你需要啟動Javascript才能觀看它

 

I385254